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      KS-FT200/300
      前道8/12寸涂膠顯影機

      KS-FT200/300系列堆疊式高產能前道涂膠顯影機,為我司自主研發的突破晶圓前道28nm工藝節點及以上工藝制程,適用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC,SOC,SOD,SOG等多種材料涂覆顯影工藝的高端機臺。支持與光刻機聯機作業。該系列機臺通過各種行業認證,占地面積小、可靠性高、易于維護,滿足各種功能芯片制程需求。
      產品優勢:
      • 1.?堆疊式高產能架構,占地面積小

        2.?可與光刻機聯機,滿足工廠自動化需求

        3.?配備多段回吸的多腔體共用供膠系統,有效節省光刻膠的用量

        4. 選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件,滿足更高標準工藝需求

        5. 核心單元模塊化設計,組合方式靈活多變,最大限度客制化

      應用領域:

      ●邏輯電路

      ●CMOS射頻電路

      ●功率器件

      ●MEMS系統級芯片

      ●閃存內存

      ●CIS

      ●驅動芯片

      ●OLED

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