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      KS-C300
      12寸集束型涂膠顯影機

      KS-C300涂膠顯影機可用于高端封裝、 MEMS、OLED等領域的涂覆顯影制程,每小時可加工180片晶片,同時產品可兼容不同材質的晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物等。產品可應用于邏輯類、存儲類芯片、攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED制造等領域。高端國產化集成電路設備的成功應用為客戶節約了大量成本。產品通過SEMI S2認證。
      產品優勢:
      • 1.適合超薄晶圓處理,超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝

        2.涂膠單元特殊設計,避免高黏度膠離心涂敷時產生的“棉花糖”現象

        3.機臺為全封閉模塊化結構,工藝單元靈活選配

        4.占地面積小,產能高

        5.工藝上可實現5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工,熱板采用漸進式烘焙

      • 6.可滿足工廠自動化需求,無人值守

      應用領域:

      ●高端封裝

      ●OLED 領域

      ●MEMS

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